Máquina de recubrimiento de herramientas PVD

¿De qué está compuesto el sistema de equipos de recubrimiento PVD al vacío? Hoy te daremos una breve introducción.

(1) Bomba principal: en el sistema de vacío, la bomba de vacío utilizada para obtener el grado de vacío requerido para cumplir con los requisitos específicos del proceso, como la bomba de difusión de aceite en la máquina de recubrimiento al vacío, es la bomba principal.

(2) Bomba delantera: una bomba de vacío utilizada para mantener la presión delantera de una bomba de vacío por debajo de su presión delantera crítica. Por ejemplo, la bomba de paletas rotativas o de válvula de carrete configurada frente a la bomba Roots es la bomba de respaldo.

(3) Bomba aproximada: una bomba de vacío que comienza a bombear desde la presión atmosférica y bombea la presión del sistema a otra bomba de vacío para que comience a funcionar. Por ejemplo, la bomba de válvula deslizante en la máquina de revestimiento al vacío es la bomba de petróleo crudo.

(4) Bomba de mantenimiento: en el sistema de vacío, el volumen de aire es muy pequeño y la bomba de respaldo no se puede usar de manera efectiva. Para ello se configura una bomba auxiliar de menor capacidad para el mantenimiento de la bomba principal, a la que se denomina bomba de mantenimiento. Por ejemplo, una pequeña bomba rotativa de paletas está equipada en la salida de la bomba de difusión, que es una bomba de mantenimiento.

De hecho, un sistema de vacío simple solo puede obtener un vacío aproximado. Cuando se desea un alto vacío, generalmente se conecta una bomba de alto vacío en serie en el sistema de vacío. Por ejemplo, una bomba Roots y una bomba de tornillo son todas bombas que obtienen alto vacío. Cuando una bomba de alto vacío se conecta en serie, generalmente se agregan válvulas a la entrada y salida de la bomba de alto vacío, de modo que la bomba de alto vacío pueda mantener el vacío por sí sola. Si la bomba de alto vacío conectada en serie es una bomba de difusión de aceite, para evitar que una gran cantidad de vapor de aceite fluya hacia el recipiente bombeado, generalmente se agrega una trampa, un deflector de enfriamiento de agua, en la entrada de la bomba de difusión de aceite. . De acuerdo con los requisitos, también se pueden agregar a la tubería colectores de polvo, cabezales de manómetro de relé de vacío, tuberías de conexión flexible de vacío, válvulas de liberación de aire de entrada de bomba de vacío, radiadores, etc., formando así un sistema de alto vacío relativamente completo.

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