Método de medición y monitoreo del espesor de la película de la máquina moderna de recubrimiento al vacío

El método de control de recubrimiento más directo es el Método de Microequilibrio de Cristal de Cuarzo (QCM), que puede impulsar directamente la fuente de evaporación y hacer un ciclo del deflector a través del control PID para mantener la tasa de evaporación. Siempre que el instrumento esté conectado al software de control del sistema, puede controlar todo el proceso de recubrimiento. Pero la precisión de (QCM) es limitada, en parte porque monitorea la calidad del recubrimiento que se deposita en lugar de su espesor óptico.

Además, mientras que el QCM es muy estable a temperaturas más bajas, se vuelve muy sensible a la temperatura a temperaturas más altas. Durante el calentamiento prolongado, es difícil evitar que el sensor caiga en esta área sensible, causando errores significativos en la película.

El monitoreo óptico es el método preferido de monitoreo para recubrimientos de alta precisión porque permite un control más preciso del espesor de la capa (si se usa correctamente). La mejora en la precisión se deriva de muchos factores, pero la razón más fundamental es el monitoreo del grosor óptico.

El sistema de monitoreo óptico de longitud de onda única OPTIMAL SWA-I-05 adopta la medición y el control indirectos, combinados con un software avanzado de monitoreo óptico desarrollado por el Dr. Wang, para mejorar efectivamente la teoría y el método de sensibilidad de respuesta óptica a los cambios de espesor de la película para reducir el error final, proporcionando retroalimentación o transmisión de modos y una amplia gama de longitudes de onda de monitoreo. Es especialmente adecuado para el monitoreo de recubrimientos de varios espesores de película, incluido el monitoreo de película irregular.