Máquina de recubrimiento por plasma de iones de arco de cámara de gran tamaño

El principio del revestimiento de iones de arco se investiga sobre la base de la teoría de descarga de arco de vacío de cátodo frío. La tecnología central de la máquina de revestimiento de iones de arco múltiple es su fuente de evaporación de arco. La fuente de evaporación de la máquina de recubrimiento de iones de arco múltiple es una fuente de evaporación sólida de autoevaporación y autoionización relativamente especial de descarga de arco de cátodo frío.

En comparación con la fuente de evaporación tradicional, la fuente de evaporación por arco del recubridor de iones multiarco tiene características obvias:

La película de recubrimiento tiene alta densidad, larga vida útil y alta resistencia;

Como fuente de evaporación de arco de tipo sólido, se puede cambiar su forma, tamaño y posición;

Amplio rango de vacío operativo;

mayor energía iónica;

Alta tasa de ionización hasta 60 por ciento -80 por ciento;

Altas tasas de deposición, como TiN, pueden alcanzar altas tasas de deposición de 100nm/s~1000nm/s.

El nitruro de titanio se puede usar como una película recubierta sobre vidrio. Cuando la reflectividad infrarroja es superior al 75 por ciento, cuando el espesor de la película de nitruro de titanio es superior a 90nm, el rendimiento del aislamiento térmico del vidrio puede mejorarse de manera efectiva. Además, ajustando el contenido porcentual de nitrógeno en el nitruro de titanio puede cambiar el color de la película de nitruro de titanio, logrando así un efecto estético ideal.

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