Máquina de recubrimiento de vidrio horizontal

La máquina de recubrimiento pvd LKBT puede recubrir una película de oro titanio TiN; películas TiC, CrC gun black, black, grayseries; ZrN oro de circonio, oro champán, película de la serie de colores de latón; TiCN oro rosa, rosa rojo, burdeos, capa de serie de color marrón; TiO zafiro azul, verde, rosa, películas de la serie de colores del arco iris, etc.

Es ampliamente utilizado en láminas de acero inoxidable, tuberías de acero inoxidable (hasta 6 m), expositores de acero inoxidable, LOGOTIPOS de acero inoxidable, cerraduras, manijas, ferretería para baños, utensilios de acero inoxidable y piezas de revestimiento de plástico, cerámica y otros procesos de revestimiento de superficies.

Máquina de recubrimiento de vidrio horizontal Método de deposición por pulverización catódica de película de aleación

Para reducir el número de objetivos utilizados en el sistema de pulverización catódica, se puede utilizar un objetivo para pulverizar y depositar películas de aleación que cumplan los requisitos de composición y rendimiento. Se pueden utilizar objetivos de aleación, objetivos de mosaico compuesto y pulverización catódica multiobjetivo.

Hablando en términos generales, en el estado estable de descarga, según la composición del objetivo, varios átomos constituyentes se someten respectivamente a pulverización catódica. Una de las ventajas del recubrimiento por pulverización sobre la evaporación al vacío y el recubrimiento iónico es que la composición de la película y el objetivo La diferencia de composición es pequeña y la composición del recubrimiento es estable. Sin embargo, en algunos casos, debido al fenómeno de pulverización selectiva de diferentes elementos constituyentes, la tasa de pulverización inversa de la película y la diferencia en la adhesión, la composición de la película y el objetivo serán muy diferentes. Usando este objetivo de aleación, para preparar una película con una determinada composición, además de preparar un objetivo con una relación específica según el experimento y reducir la temperatura del objetivo tanto como sea posible, también se debe reducir la temperatura del sustrato. tanto como sea posible para reducir la diferencia en la tasa de adhesión y seleccionar las condiciones de proceso apropiadas para minimizar el efecto de la pulverización catódica inversa en la película.

En algunos casos, es difícil preparar blancos de aleación uniformes de gran área y blancos compuestos. En este caso, se puede usar un blanco de mosaico compuesto por elementos únicos.

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